X射線熒光光譜儀目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。
X射線熒光光譜儀工作原理是X射線光管發(fā)出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當外層電子躍遷時產(chǎn)生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。
X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
根據(jù)X射線熒光的產(chǎn)生原理，X射線熒光光譜儀在結(jié)構(gòu)上主要由激發(fā)源、色散系統(tǒng)、探測系統(tǒng)等3部分組成。按照色散方式的不同，X射線熒光光譜儀可以分為2類：波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）。下面來看看儀器結(jié)構(gòu)以及各結(jié)構(gòu)作用。
X射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)和作用：
1、X射線光管發(fā)射的原級X射線入射至樣品，激發(fā)樣品中各元素的特征譜線
2、分光晶體將不同波長λ的X射線分開
3、探測器記錄經(jīng)分光的特定波長的X射線光子N
4、根據(jù)特定波長X射線光子N的強度，計算出與該波長對應(yīng)的元素的濃度
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